芯片廠(chǎng)傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車(chē)間的整個(gè)頂棚上布滿(mǎn)高效空氣過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。現(xiàn)在很多芯片廠(chǎng)使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置，即FFU。 空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通空氣過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。

空氣過(guò)濾器的更換和使用：

1、過(guò)濾器的使用：粗效、中效、高中效、亞高效、高效、超高效6種過(guò)濾器各有各的用途，需要正確使用，如果使用不當(dāng)，不但不會(huì)起作用而且還會(huì)產(chǎn)生不良甚至相反的效果。因此，設(shè)計(jì)、建造和維護(hù)管理潔凈室的人員要特別注意。粗效過(guò)濾器是作為預(yù)過(guò)濾器使用，一般是設(shè)置在空調(diào)箱內(nèi)，其作用是過(guò)濾大顆粒的粒子，以保護(hù)其后的空調(diào)設(shè)備（如表冷器和加熱器等）和中效以及高效過(guò)濾器。一般粗效過(guò)濾器不能作為終端過(guò)濾器。中效過(guò)濾器一般設(shè)在空調(diào)箱的正壓段，其作用是保護(hù)亞高效、高效過(guò)濾器等終端過(guò)濾器。它除去的是≥1.0?m的中小粒子。一般情況下，中效過(guò)濾器是中間過(guò)濾器，不能做預(yù)過(guò)濾器用，也不能做終端過(guò)濾器。高效和超高效過(guò)濾器都做為凈化系統(tǒng)的終端過(guò)濾器。一般放置在潔凈室的吊頂上。高效過(guò)濾器（HEPA）是潔凈室需要的終端過(guò)濾器。而超高效過(guò)濾器是0.1?m，10級(jí)、1級(jí)或更gap效率的潔凈室需要的終端空氣過(guò)濾器。

2、過(guò)濾器的更換：過(guò)濾器經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的運(yùn)行，當(dāng)過(guò)濾器的阻力達(dá)到其終阻力Hz時(shí)，一般情況下就要更換了，否則其性能就會(huì)下降，達(dá)不到應(yīng)起的作用，甚至?xí)绊懴到y(tǒng)的正常運(yùn)行。對(duì)粗、中效過(guò)濾器而言，有一次性使用后廢棄的也有可清洗后繼續(xù)使用的，不過(guò)清洗后的粗、中效過(guò)濾器的阻力遠(yuǎn)比其初阻力大，效率也有所提高。然而亞高效、高效和超高效過(guò)濾器都是一次性的，使用后就廢棄的。

空氣過(guò)濾器特別說(shuō)明：低效率過(guò)濾器一般使用粗纖維濾料，纖維間空隙大，過(guò)大的阻力有可能將過(guò)濾器上的積塵吹散，這種情況下，過(guò)濾器阻力不再增高，但過(guò)濾效率降到幾乎為零，因此要嚴(yán)格控制粗效空氣過(guò)濾器的終阻力值！